Beim Sägen von Wafern oder ähnlichen Substraten fällt kontinuierlich verunreinigtes Schneid- und Kühlwasser an. In der Kreislaufanlage RECYFLOW wird das Wasser gereinigt und der Schneideinrichtung wieder zugeführt. Dadurch werden ca. 90 bis 99% der Wassermenge eingespart.
Druck und Volumenstrom sind stufenlos einstellbar. Durch diese Vielseitigkeit können unterschiedliche Sägen oder mehrere Anlagen an die Wasseraufbereitung angeschlosssen werden.
Optionen
Leitfähigkeitsüberwachung
Volumenstromüberwachung
Automatische Befülleinrichtung
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Eine Pumpe fördert das verschmutzte Wasser durch die Filteranlage. Feststoffe werden in dem speziell ausgelegten Kreislaufbehälter und dem mehrstufigen Filtersystem zurückgehalten.
Falls kein Spülweiser an den Sägen benötigt wird, läuft das Wasser automatisch im Bypass in den Kreislaufbehälter zurück.
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Detailinformationen